Co je to rozprašovací systém?

Rozprašování je proces depozice tenkého filmu, ve kterém je na povrch substrátu vystřelen pevný cílový materiál za vzniku tenkého povlaku.Rozprašovací systém je stroj, ve kterém dochází k procesu rozprašování.Obsahuje celý proces a umožňuje uživateli upravit materiály teploty, výkonu, tlaku, cíle a substrátu.

Rozprašování je známé jako depozice fyzikální páry, protože tenký film je vytvářen spíše fyzickými prostředky než chemickými reakcemi.V rozprašovacím systému obsahuje vakuová komora cílový materiál, zdroj energie a plynovou plazmu.Plyn, který je obvykle ušlechtilým plynem, jako je argon, je přiveden do komory s velmi nízkým tlakem, aby zahájil proces.plyn.To způsobuje, že plyn ionizuje a vytváří pozitivní ionty známé jako kationty.Tyto kationty zase bombardují cílový materiál a srazí jeho malé kousky, které cestují komorou a vloží se na substrát.Proces je snadno udržován v komoře rozprašovacího systému, protože během ionizace plynové plazmy jsou uvolněny další elektrony.Orientace cílového materiálu a substrátu je specifická pro každý stroj.Některé systémy budou čelit cílovému materiálu rovnoběžně s povrchem substrátu, zatímco jiné nakloní jeden povrch a vytvoří jiný vzorec depozice.Například konfokální rozprašování v kruhu směřující k ohniskovému bodu.Substrát v tomto typu systému pak může být otočen pro rovnoměrnější depozici.Jeden typ rozprašovacího systému, známý jako magnetron, také obsahuje magnety pro stabilizaci volných elektronů a dokonce i depozice tenkého filmu.Tyto metody dávají rozprašovacímu systému různé vlastnosti týkající se teploty a rychlosti depozice.Vnitřní komora se také liší velikostí, ale je obecně mnohem menší než samotný stroj;Většina komor má průměry menší než 1 yard (asi 1 metr).Náklady na rozprašovací systém se pohybují od méně než 20 000 USD v amerických dolarech (USD), až po 650 000 USD za nový nebo na míru navržený systém.