Co je analýza tenkých filmů?

Analýza tenkých filmů je proces zkoumání polovodičových filmů, nejčastěji používaných při výrobě mikroprocesorů a aplikací sluneční energie, aby se zajistilo, že materiál splňuje provozní specifikace.To se obvykle provádí různými formami mikroskopie, jako je rentgenová difrakce, skenovací analýza elektronového mikroskopu a další během výrobního procesu.Je důležité, aby tenké filmy splňovaly náročné optické, elektrické a depoziční standardy pro součásti založené na nich, nebo nepatrné nedostatky mohou způsobit celý obvod, který jsou vytvořeny, aby podpořili selhání.

, protože v procesu může být mnoho krokůVytvoření konečného produktu založeného na tenkém filmu může analýza produktu podél cesty znamenat také mnoho kroků.Na počáteční úrovni produkce substrátu zahrnuje analýza tenkých filmů hledání z pohledu materiálů na vlastnosti filmu, včetně jeho vodivosti, krystalické struktury, chemického složení a bodů rozhraní pro elektrické komponenty, jako jsou tranzistory.V této analýze tenkého filmu se používají různé formy elektronové spektroskopie, včetně spektroskopie Rutherfordského zpětného rozptylu (RBS) k určení elementárního složení, augové elektronové spektroskopie (AES) k analýze povrchových prvků a další.Aplikace, jako jsou displeje tekutých krystalů, solární články a baterie, budou zahrnovat svou vlastní jedinečnou řadu kroků analýzy tenkých filmů.Technologie tenkého filmu se také začíná vzdálit od základního materiálu křemíku.Flexibilní tenké filmové fotovoltaické (PV) založené na polyvinylových plastových sloučeninách pro solární aplikace, vyžaduje také analýzu solárního PV a analýza tenkých filmů zahrnuje jinou sadu procesů než ty, které se používají na křemíku.

Solární film, na rozdíl od polovodičového filmuPoužívá se pro mikroprocesory, často podléhá změnám životního prostředí během používání, které vyžadují, aby bylo odolnější a dlouhodobější při teplotě a jiných extrémech.Výsledkem je, že analýza tenkých filmů materiálů určených pro solární střechy může například čelit vyšetření mnoha vědeckými disciplínami, od vědy o materiálech po aplikovanou fyziku, chemii a strojní inženýrství, než je produkt připraven na prodej.

Nanotechnologie, obojí, obojíPokud jde o zařízení pro analýzu tenkých filmů a výrobní procesy, bude i nadále hrát klíčovou roli při kontrole kvality pro tenké filmy.To zahrnuje nutnost provádět analýzu tenkých filmů v laboratorním prostředí čisté místnosti bez slunečního světla a většiny prachu a vzdušných částic, z nichž každá může nevratně poškodit povrch tenkého filmu.Maskování, leptání a depoziční zařízení používané k vytvoření tenkého filmu na prvním místě lze také použít ke spuštění testovacích případů a analýzu kvality hotového produktu, aby se zajistilo, že proces je správně kalibrován za účelem výroby funkčních koncových produktů.